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設備用途：

該撕膜設備一款觸控式操作的定制化機器，應用于 12寸晶圓的擴摸，通過勻力拉伸晶圓背后的膠帶，實現芯片的精確分離。

設備介紹：

?  UPH >40

?  晶圓尺寸：可定制6/8/12inch

?  功能支持：SECS/GEM, CCD

?  產出率/良品率 : 99%

?  擴膜精度：±0.1mm

?  MTBA：60 mins

?  MTBF ：168 hours

?  尺寸： 高H1800mmX 寬W1200 X 長L1800 

?  重量：700kg