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產(chǎn)品服務(wù)

SERVICE ITEMS

SUC-300自動UV解膠機
    發(fā)布時間:2024-01-26    


設(shè)備用途:

?應(yīng)用于wafer UV 解膠制程

設(shè)備特點:

? 通過SECS/GEM 或E84對接天車系統(tǒng),同時可上下兩個料盒。

? 晶圓機器人掃料盒識別maping并通過SECS/GEM與EAP比對料盒信息,

    比對成功后,晶圓機器人取8寸或12寸Ring放置兩個UV解膠平臺。

? UV燈移動均勻解膠

? UV功率可控且可監(jiān)控

? 解膠參數(shù)由EAP管控

? 解膠完成再通過晶圓機器人將Ring放回料盒。

? 具備SECS/GEM通訊協(xié)議,為自動化生產(chǎn)提供渠道

設(shè)備規(guī)格:

? 尺寸: H1950 x W1400 x L2100mm(含 FFU)

? 重量::900kg